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光柵式線性測微計主要使用傳動型光電線性編碼器,如下圖所示。
在這個類型中,光源 (LED) 和檢測器要素 (發(fā)光二 管) 彼此相對,主尺和指示尺 (20µm 間距) 在它們之間。當光柵尺相對檢測器移動時,透過指示尺窗口的光線亮度連續(xù)變化。同時,輸出兩個同步的正弦波信號形成 90 度相位差。這些信號被放大和分離 (使用插入的附加波形),并以0.1µm、0.5µm、1µm 和 5µm 的正弦波信號輸出。
光柵式線性測微計處理內(nèi)部檢測到的信號和輸出正弦波信號如下圖所示。
這些 90 度相位差的正弦波操作信號相當于 RS-422A 信號,測頭可以獨立使用。但是,某些型號 (LGD 和 LGS) 不
能輸出正弦波信號而是輸出 Digimatic 代碼(SPC),用以鑒定測量位置。